摘要:齿轮是机械工业中最重要的传动元件之一，被广泛用于汽车、机械设备和军工中。高精度的齿轮对其传递运动的准确性、传动稳定性、载荷分布均衡性，寿命等起着关键作用。随着时代的发展，人们对齿轮的精度要求越来越高，而高精度、高质量的齿轮生产不仅取决于齿轮的设计和加工还取决于检测设备的先进性、准确性。

光栅位移测量传感器是一种综合了光、机、电技术的数字化，自动化测量与定位的高技术产品，其性能稳定、精度高、测量范围大、使用方便，作为关键测量部件广泛应用于数控机床、精密仪器等领域，在精密、超精密制造和计量测试领域有着不可替代的作用。

本文主要介绍利用光栅测量原理设计的光栅测量装置：包括对输入量（位移量）进行转换、接口传送的测量装置；光栅测量装置的放大整形、细分和判向电路，可逆脉冲计数电路的设计。

关键词：大型齿轮；廓形误差；光栅；测量；可逆计数器

目录

摘要

Abstract

1 绪论-1

1.1课题研究的背景-1

1.2 大齿轮测量技术现状及发展-1

1.3课题主要研究内容-2

2 光栅测量技术应用及发展-3

2.1 光栅的定义及发展-3

2.2 光栅测量的基本原理-3

2.2.1基于几何光学原理的测量系统-4

2.2.2基于衍射光干涉原理的光栅测量系统-5

2.3 光栅信号的处理方法-6

2.3.1 莫尔条纹独特的特性-7

2.3.2 正交信号细分原理-9

3 齿条测头型大型齿轮廓形测量仪总体方案设计-15

3.1总体方案及要点说明-15

3.2测量仪测头结构设计概述-15

3.3精密测角装置设计简介-16

4 齿条测头型大型齿轮测量仪电气控制系统设计-17

4.1 光栅信号检测电路设计-17

4.2辩向细分电路设计-18

4.3可逆计数器电路设计-19

5 结束语-21

参 考 文 献-22

致    谢-23