摘要:三坐标测量机在当今社会应用广泛，尤其是机械加工行业。而随着社会的发展，人们越发追求完美，并且在原有的基础上变得精益求精。所以对三坐标测量机的性能要求更加的严格。本文中针对三坐标测量机展开设计，第一步就是确定好本次设计的产品基本尺寸大小，接着设计好其加工工艺，并就能此步骤挨个设计所需机构，运用相关公式计算好每个零件的具体参数值，并对其进行校核。确保整个的设计都能保证产品生产的正常进行，做到精益求精，满足人们的生活和生产要求。本文多次运用对比的方法，优中选优，充分保证了三坐标测量机的性能，实现其测量结果的准确度。本次设计选择使用燕尾型气体静压式导轨，并对其优点进行了详细的介绍。最后对测量误差进行了分析，总的来说就是实现精密测量，确保测量结果的有效性。

关键词 超精密；气静压；高精度；精密测量

目录

摘要

Abstract

1 绪  论-3

1.1-课题的研究背景及意义-3

1.2-精密测量的研究现状-3

1.3-精密测量的关键技术-5

1.3.1 直线导轨-5

1.3.2 传动系统-6

1.3.3 测量技术-6

1.4 课题研究内容-6

2 三坐标测量机整机机构设计-7

2.1  总体布局-7

2.2床身材料选用-8

2.3  导轨的设计-9

2.4  进给传动方式的选择-12

2.4.1  进给丝杠-12

2.4.2  钢丝和钢索传动-12

2.4.3  摩擦驱动-12

2.5  测量仪整体结构设计-13

2.6  测量仪的工作原理-14

3 测量仪的主要零部件的设计-15

3.1  移动桥的设计-15

3.2  溜板的设计-16

3.3  电机选型-17

3.4  环境控制平台-20

3.4.1  温度控制-20

3.4.2  隔振-20

3.5  光栅尺的选型-21

4 测量仪精度分析-22

4.1  测量仪误差源-22

4.2  测量仪精度分析-23

4.2.1 测量表的精度-23

4.2.2 数学模型误差-24

4.2.3  因测杆受力产生的误差-24

5 结束语-26

6 致谢-27

参考文献-28