摘要：如大部分所知的我们熟悉的紫外光其实是一种电磁波[2]。紫外光会伴随着波长的改变表现出不同的特性。当前在宽禁带半导体薄膜材料紫外探测器的研究中虽取得了许多的成果[7]，但制备高性能的薄膜紫外探测器还存在很多问题，在大量纳米材料研究中，氧化锌结合了纳米材料的特点和独自的优点可作为制备紫外探测器的重要材料。

本篇文章主要使用低温水溶液的方法[4]，分别采用硫酸锌为锌源以及乙醇溶剂的方法，制备了具有纳米片状结构的氧化锌纳米材料。除了对生长的样品进行表面形貌表征测试之外，还对采用低温乙醇溶剂热生长的样品进行了紫外光响应测试。结果标明基于乙醇溶剂热生长的纳米片状结构制备的紫外探测器件对紫外光有着非常好的响应，并经测试发现此紫外探测器变化具有周期性和重复性。器件的光响应度高，同时具有很好的稳定性。该方法工艺简便，不需要添加催化剂，可知它不仅适合大规模生产，而且为我们制备低成本，高性能的纳米基紫外探测器件提供了重要的路径。

关键词：氧化锌纳米材料；片状结构；周期性；水溶液法；紫外探测器；响应程度

目录

摘要

Abstract

第一章 绪论-1

1.1 前言-1

1.2关于纳米半导体材料的简介-1

1.3 氧化锌纳米材料-2

1.3.1氧化锌纳米材料的主要性质-2

1.3.2氧化锌纳米材料的主要性能-2

1.4 氧化锌紫外探测器-3

1.4.1 氧化锌紫外探测器主要特性-3

1.4.2氧化锌紫外探测器制作及功能原理-3

1.4.3氧化锌紫外探测器的应用-4

1.5水溶液法的介绍-4

1.6 本文主要工作-4

第二章 氧化锌纳米片状结构生长-6

2.1 前言-6

2.2以硫酸锌为锌源生长实验过程-6

2.2.1实验步骤-6

2.2.2扫描电子显微镜所观测的图像-7

2.3在低温乙醇溶剂热下生长实验过程-9

2.3.1实验步骤-9

2.3.2扫描电子显微镜所观测的图像-9

第三章 基于氧化锌片状结构紫外探测器的制备-11

3.1 前言-11

3.2 同质紫外探测器制备-11

3.2.1性能检测数据图像-12

3.2.2 检测结果分析与总结-17

3.3异质紫外探测器的制备-18

3.3.1性能检测数据图像-18

3.3.2检测结果分析与总结-20

3.3.3基于不同波长下紫外探测器的响应-21

结    论-23

参 考 文 献-24

致    谢-25