摘要：大气压等离子体射流可以开放空间，而不是像等离子体中产生的放电间隙中的传统放电，大气压等离子体射流是一种新型等离子体放电技术，具有工作温度低，可控性好，操作简单等特点，但等离子体体积小，不适合大面积加工。扩展一维和单等离子体喷射源二维阵列结构，可以产生大面积低温等离子体处理，灵活性更实用。成为近年来大气压等离子体射流放电研究的重点。

为了研究蒸汽的体积分数对大气压等离子体射流的效率和排放效率的影响，产生了高反应性的低温等离子体，并且其效率被优化。大气压氩等离子体喷射水的光学性质测量和发射光谱的诊断，Lissajous图形等电气特性和发光图像的电压和电流波形，研究了不同的水汽体积分数，等离子体射流的放电特性。通过计算放电功率和运输电荷，电子温度和振动温度和分子旋转温度等主要放电参数，研究了水汽体积分数的变化趋势，结合实验结果的放电机理分析。结果表明，Ar / H 2 O等离子体射流产生N2和Ar。有OH和O，空气温度在525〜720K的范围内变化，典型为低温等离子体;随着水蒸汽浓度的增加，等离子体喷射喷嘴长度减小，放电功率降低，发射强度，转动温度和振动温度升高;在相同的功率下，水汽体积分数为0.5％，产生最大的OH。

关键词：等离子体射流；N-APPJ；Lissajous图形；放电参量

目录

摘要

Abstract

1 绪论-1

1.1 大气压射流等离子体1

1.2研究现状-2

2水中单射流放电实验装置、放电原理及功率测量基本原理-3

2.1 水中单射流放电实验装置-3

2.2放电原理-5

2.3功率测量基本原理.6

3水中单射流放电电流特性分析-8

3.1氧气放电电流特性分析.11

 3.1.1频率对氧气放电电流特性的影响12

 3.1.2气体流量对氧气放电电流特性的影响12

 3.1.3电压对氧气放电电流特性的影响12

3.2小结.12

3.3氦气放电电流特性分析.13

 3.3.1频率对氦气放电电流特性的影响13

 3.3.2气体流量对氦气放电电流特性的影响13

 3.3.3电压对氦气放电电流特性的影响13

3.4小结.14

4 结论与展望-14

参考文献-15

致谢-16