摘要：本文采用溶胶-凝胶法将乙酸锌作为前驱体，乙醇胺作为稳定剂，异丙醇作为溶剂，以及氯化铜作为掺杂剂并结合旋涂工艺，制备出了掺杂浓度不同的氧化锌样品薄膜。并使用X射线衍射仪（XRD）对薄膜的晶体结构进行了分析，使用扫描电子显微镜（SEM）对薄膜的表面形貌进行了表征，使用紫外-可见（UV-vis）吸收透射光谱仪对薄膜的可见光透过率进行了检测，使用光致发光光谱（PL）对薄膜的发光性能进行了测试。得到的结论是：铜掺杂氧化锌薄膜为六方晶系纤锌矿结构特征，随着Cu的掺入及其浓度的不同，氧化锌薄膜样品的表面形貌也随之变化，由均匀分布的颗粒状转向堆叠分布。同时，薄膜一方面吸收所有的紫外光，另一方面对可见光有较高的透过率。在370nm激光的激发下，所有掺杂浓度的样品都发出较强的蓝光。

关键词：溶胶凝胶法(Sol-Gel)；SEM;XRD;PL；ZnO:Cu薄膜

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摘要

Abstract

第一章  绪论-1

1.1 ZnO薄膜的研究背景-1

1.2 ZnO 的基本性质-1

1.3 ZnO材料的研究概况-2

1.3.1 ZnO材料中的本证缺陷-3

1.3.2 ZnO p型掺杂的研究进展-4

第二章  Cu掺杂ZnO薄膜的制备-6

2.1 实验试剂和仪器-6

2.2 技术路线-7

2.3  Cu掺杂ZnO薄膜的制备-7

2.3.1 器材准备-7

2.3.2 实验过程-8

第三章  结果与讨论-9

3.1 XRD分析-9

3.2 SEM分析-10

3.3 Cu掺杂ZnO薄膜的光学特性-12

3.3.1紫外可见吸收光谱分析-12

3.3.2 PL分析-13

结论-15

参考文献-16

致谢-18