摘要：对于等离子体的研究无论是国内和国外已经有着很长的研究，在20世界60年代开始等离子体的研究已经开始发展。到20世界80年代电感耦合等离子体应用于质谱仪，为了更直观的看出电感耦合等离子体空间分布和密度变化，本课题我们采用了流体有限元法.离子密度和离子能量分布。我们用COMSOL软件进行模拟实验得出更加直观的图像，对于电阻，功率、放电气压和基底偏压下感应耦合等离子体非局域加热进行了研究。我们本文中应用了控制变量法分别改变反应时的气压，和线圈的改变讨论等离子体空间分布和粒子密度的变化。

在本课题的实验部分我们通过COMSOL软件得出粒子空间分布和粒子密度变化。同时我们还可以发现流体有限元研究等离子体的优越性和COMSOL软件的实用性，对于我们课题研究更加直观和节省费用。

关键词：ICP离子体；流体有限元法；电子空间分布；COMSOL软

目录

摘要

Abstract

1.绪论-5

1.1 等离子体-5

1.2ICP等离子体-5

1.3电子电离作用-5

1.4ICP磁场分析-5

2.数值仿真-5

2.1流体方法-5

2.2 PIC/MCC方法-5

2.3 COMSOL有限元数值模拟-5

2.3.1流体方程-5

2.3.2COMSOL建模仿真-5

3.ICP的电子加热行为研究-5

3.1 气压对电子分布的影响-5

3.2 线圈对电子加热的影响-5

4.结论-5

5.致谢-5

6.参考文献-5